Г 12 Гаврилов, Сергей Александрович (д-р техн. наук, электроника). Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие: для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100 (550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)" / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов. - Москва : Высшее образование, 2009 [т.е. 2008] (Архангельск : ИПП "Правда Севера"). - 257 с. : ил., табл., граф. ; 21. - (Приоритетные национальные проекты. Образование) (Учебно-методическое объединение рекомендует) (Высшее образование. Основы наук). - Библиогр.: с. 256-247 (26 назв.). - 1000 экз.. - ISBN 978-5-9692-0304-4 : 120.00 р. На 4-й с. обл. авт.: Гаврилов С.А. - д.т.н., проф., Белов А.Н. - к.т.н., доц. Кн. фактически издана в 2008 г. Содержание: Законы и положения теории электродных процессов Процессы анодного растворения в технологии микро- и наноструктур Анодные оксидные пленки в технологии полупроводников и твердотельных наноструктур Катодное осаждение в технологии микро- и наноструктур Аннотация: Пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС), процессов формирования барьерных и пористых оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии ультрабольших интегральных схем (УБИС), МЭМС и нанотехнологии. Доп.точки доступа: Белов, Алексей Николаевич (канд. техн. наук) Экземпляры всего: 1 Аб (1) Свободны: Аб (1) |